IXION 193 SLM激光器是一款单频全固态激光系统，应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子的带宽控制等领域。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。

该系统的中心波长可定制，范围在185至194 nm之间，并可在订购时配置为固定波长。

另外，系统还可以集成一台绝对光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有最大的精度。

可选

• 图形用户界面

• LabView库

• 精密光谱仪

• 中心波长:185 ~ 194 nm

• 符合CDRH的快门

IXION 193 SLM 激光器应用

• 193 nm 计量

• 光谱仪校准

• 干涉度量

• 准分子种子源

IXION 193 SLM